FE-SEM분석
다양한 유기/무기 소재의 연구개발에 관한 업무를 성심껏 도와드릴 것을 약속합니다.
FE-SEM은 고해상도 및 고배율, 저손상 표면분석을 위해 활용하는 장비로서 미세구조분석, 고분자 morphology, 필름의 단면분석, 입도분석이 가능하며, EDS 장비로 미지시료의 정성, 정량분석이 가능합니다.
‘간편 상담문의’ 또는 ‘분석신청 바로가기’를 통해 접수해주시면, 담당연구원으로부터 빠르고 정확한 답변을 받아보실 수 있습니다.
FE-SEM 분석 서비스 개요
사용기기 | 조건 | 분석 내용 |
---|---|---|
FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscope) |
배율 : x 10 ~ x 600 000 | 고해상도, 저손상 분석 가능 |
전계방출형 주사전자현미경은 일반적인 현미경인 열전자방출방식의 gun과 달리 electron source인 filament metal 표면에 강한 electric filed를 걸어주어 전자를 방출시키는 gun type의 현미경입니다.
이러한 현미경의 가장 큰 특징은 일반 SEM 보다 분해능이 뛰어난 장점을 가지고 있어 high resolution의 image를 관찰 할 수 있다는 장점과 쉽게 electron beam의 damage를 입는 시료들에 대해서 낮은 가속전압에서 비교적 고배율(최대 x 100 000) 관찰이 용이하다는 점입니다.
고해상도를 요구하는 박막재료와 저전압에서 고배율로 관찰 해야 하는 재료 등을 분석하는데 필수적인 장비입니다. 표면 뿐만 아니라 단면 전처리를 통한 시료 단면 확인에도 유용하게 활용이 되고 있습니다. 다층필름의 각 층의 두께 측정, 도금 두께 측정, 기공의 크기 확인 등 다양한 분석이 가능합니다.
그밖에 특정 X선을 검출할 수 있는 EDX 검출기를 장착해 사용이 가능합니다. 이는 짧은 시간에 미세영역의 구성성분(원소)을 분석할 수 있다는 장점이 있습니다.